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硅基多層薄膜體聲波生化傳感器關鍵技術及應用研究
  -------- 一般項目
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發布日期: 2020/5/1
項目編號: 163558 所屬行業: 電子信息 現處階段: 研發階段
獲專利情況: 項目所在地: 江蘇 融資額: 面議
融資方式: 面談    
   
 

項目關鍵詞:硅基多層薄膜體聲波生化傳感器關鍵技術及應用研究

項目介紹

  多層薄膜體聲波傳感器可望在生化檢測領域有十分重要的應用。本校已在理論方面做了相關的工作,對多層薄膜體聲波諧振結構的性能進行了研究,提出了優化諧振模式的有效機電耦合系數和諧振品質因子的兩個關鍵參數,即壓電薄膜與基片的聲阻抗之比和壓電薄膜與電極的聲阻抗之比。以近年來在體聲波諧振器的工作為基礎,研究多層薄膜體聲波傳感器,在厚度剪切振動模式的頻率溫度特性以及溫度補償機理;對傳感敏感膜為粘彈性材料時,研究多層薄膜體聲波傳感器的聲波能量分布,探究敏感膜表面質點振幅和諧振品質因子隨敏感膜粘彈性質的變化規律。上述工作可促使氣、液環境中生化物質的微量精確檢測邁進一大步。


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